高纯氯气在微电子工业中的应用

发布时间:2019-09-23 15:33:34 打印

微电子工业的半导体器件和大规模集成电路的可靠性,在很大程度上取决于半导体表面的热氧化、等离子蚀刻、晶体生长等技术,而这些工艺过程则需使用高纯氯气,氯气质量的好坏会直接影响电子元器件的质量。

二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不稳定的主要原因。若在干氧化时掺入适量的高纯氯气,就能有效地消除Na,从而大大改善MOS器件的电性能。用高纯氯气进行二氧化硅的热氧化和蚀刻是美国材料检验学会标准中规定的方法。



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